ELLIPSOMETRIE

Avancement et contributions
Foire Aux Questions
Version 0.485

"La générosité est l'art d'engendrer la liberté de l'autre"
Copyleft de René Descartes (1596-1650)

I. Introduction

II. Equations instrumentales
    II.1. Description de la lumière polarisée
    II.2. Représentations matricielles des optiques
    II.3. La photodétection

III. Mesures simples de la polarisation lumineuse
    III.1. Mesure par annulation (Sénarmont)
    III.2. Mesure des paramètres de Stokes

IV. Mesures de distance
    IV.1. Le picomètre par ellipsométrie
    IV.2. Interférométrie et ellipsométrie
    IV.3. Le picomètre sur des kilomètres

V. Ellipsométrie des couches minces
    V.1. Ellipsomètre à annulation
    V.2. Ellipsomètre à biréfringent tournant
    V.3. Interprétation des mesures (algorithmes multicouches commentés)
    V.4. Précision des mesures d'épaisseurs de couches minces

VI. Exemples de mesures ellipsométriques
    VI.1. Cinétique d'oxydation du silicium
    VI.2. Compaction de résine lithographique
    VI.3. Cartographie de siliciure de germanium

VII. Photoélasticité
   VII.1. Contraintes et déformations des couches minces
   VII.2. Dispersion chromatique de la photoélasticité